Welkom...

A.A.I. Aarnink (Tom)

Senior Process Engineer

Expertises

Plasmas
Temperature
Atomic Layer Deposition
Atomic Layer Epitaxy
Oxidation
Hydrogen
Temperature
Electrons

Publicaties

Recente Artikelen
Van Hao, B., Wiggers, F. B., Aarnink, A. A. I., Nguyen, D. M., de Jong, M. P., Kovalgin, A. Y., & Gupta, A. Y. (2014). Growth characteristics, optical properties, and crystallinity of thermal and plasma-enhanced ALD AlN films. In Proceeding of the 14th International Conference on Atomic Layer Deposition (pp. 113-113). Japan: ALD 2014.

Pure Link

Contactgegevens

Bezoekadres

Universiteit Twente
Faculteit Elektrotechniek, Wiskunde en Informatica
Carré (gebouwnr. 15), kamer 2615
Hallenweg 23
7522NH  Enschede

Navigeer naar locatie

Postadres

Universiteit Twente
Faculteit Elektrotechniek, Wiskunde en Informatica
Carré  2615
Postbus 217
7500 AE Enschede