Carré

dr. A.Y. Kovalgin (Alexey)

Universitair hoofddocent
EEMCS-EE-IDS
Carré C2609
a.y.kovalgin@utwente.nl
+31534892841
Visitekaartje

Expertises

  • Material Science

    • Temperature
    • Tungsten
    • Electrical Resistivity
    • Thin Films
    • Surface
    • Aluminum Nitride

  • Chemistry

    • Atomic Layer Epitaxy
    • Liquid Film

Organisaties

Publicaties

2025

Increasing hydrophobicity of ceramic membranes by post-deposition nitrogen annealing of molecular layer deposition grown hybrid layers (2025)Applied surface science, 683. Article 161790. Sondhi, H., Nijboer, M., Makhoul, E., Nijmeijer, A., Roozeboom, F., Bechelany, M., Kovalgin, A. & Luiten-Olieman, M.https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.161790

2024

Electrical behavior of ALD-molybdenum films in the thin-film limit (2024)In 2024 IEEE 36th International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS 2024 - Proceedings (IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures). IEEE. Van Der Zouw, K., Dulfer, S. D., Aarnink, A. A. I. & Kovalgin, A. Y.https://doi.org/10.1109/ICMTS59902.2024.10520676Tuning Nanopores in Tubular Ceramic Nanofiltration Membranes with Atmospheric-Pressure Atomic Layer Deposition: Prospects for Pressure-Based In-Line Monitoring of Pore Narrowing (2024)Separations, 11(1). Article 24. Nijboer, M., Jan, A., Chen, M., Batenburg, K., Peper, J., Aarnink, T., Roozeboom, F., Kovalgin, A., Nijmeijer, A. & Luiten-Olieman, M.https://doi.org/10.3390/separations11010024From hot wire to cold finger:methods to detect the unstable product SnH4 of Sn etching (2024)[Contribution to conference › Poster] E-MRS Spring Meeting 2024. Onnink, A., Aarnink, A. A. I., Schmitz, J. & Kovalgin, A.

2023

Low-resistivity molybdenum obtained by atomic layer deposition (2023)Journal of vacuum science & technology A: vacuum, surfaces, and films, 41(5). Article 052402. van der Zouw, K., van der Wel, B. Y., Aarnink, A. A. I., Wolters, R. A. M., Gravesteijn, D. J. & Kovalgin, A. Y.https://doi.org/10.1116/6.0002804Area-Selective Low-Pressure Thermal Atomic Layer Deposition of Aluminum Nitride (2023)The Journal of physical chemistry C, 127(34), 17134-17145. van der Wel, B. Y., van der Zouw, K., Aarnink, A. A. I. & Kovalgin, A. Y.https://doi.org/10.1021/acs.jpcc.3c03063Atmospheric-pressure atomic layer deposition: recent applications and new emerging applications in high-porosity/3D materials (2023)Dalton transactions, 52(30), 10254-10277. Chen, M., Nijboer, M. P., Kovalgin, A. Y., Nijmeijer, A., Roozeboom, F. & Luiten-Olieman, M. W. J.https://doi.org/10.1039/d3dt01204bThin-film (Al)BCN materials synthesized by sequential precursor pulses to mimic atomic layer deposition (2023)AIP advances, 13(2). Article 025237. Apaydin, R. O., Aarnink, A. A. I., Gravesteijn, D. J., De Jong, M. P. & Kovalgin, A. Y.https://doi.org/10.1063/6.0002331

2021

Li intercalation into multilayer graphene with controlled defect densities (2021)Carbon trends, 4. Article 100045. Ochapski, M. W., Ataç, D., Sanderink, J. G. M., Kovalgin, A. Y. & de Jong, M. P.https://doi.org/10.1016/j.cartre.2021.100045

2020

Large scale structures in chemical vapor deposition-grown graphene on Ni thin films (2020)Thin solid films, 709. Article 138225. Ataç, D., Sanderink, J. G. M., Kinge, S., Gravesteijn, D. J., Kovalgin, A. Y. & de Jong, M. P.https://doi.org/10.1016/j.tsf.2020.138225

Onderzoeksprofielen

Vakken collegejaar 2024/2025

Vakken in het huidig collegejaar worden toegevoegd op het moment dat zij definitief zijn in het Osiris systeem. Daarom kan het zijn dat de lijst nog niet compleet is voor het gehele collegejaar.

Vakken collegejaar 2023/2024

Scan de QR-code of
Download vCard