Publicaties
2023
Active Wafer Table Based on Piezoelectric Thin Films. Şimşek, E., Vries, S. E., Jansen, B., Steur, M., Bijkerk, F., Bayraktar, M. & Ackermann, M.Bottom Electrode Optimization for Piezoelectric Thin Film Based Active Wafer Tables. Şimşek, E., Jansen, B., Bayraktar, M. & Ackermann, M.
Onderzoeksprofielen
Adres
![](/.uc/ia3848a2a0103e7e5110085e4f403ff94cdef11c068080801e3bc0268018041/carre.png)
Universiteit Twente
Carré (gebouwnr. 15), kamer C3209
Hallenweg 23
7522 NH Enschede
Universiteit Twente
Carré C3209
Postbus 217
7500 AE Enschede