prof.dr. F. Bijkerk (Fred)

Physics & Astronomy

# Lithography
# Mirrors
# Optics
# Reflectance
# Thin Films
# Wavelengths

Engineering & Materials Science

# Multilayers

Chemistry

# Multilayer

Chen, J. , Louis, E., Harmsen, R., Tsarfati, T. , Wormeester, H., van Kampen, M., van Schaik, W. , van de Kruijs, R. , & Bijkerk, F. (2022). Corrigendum to “In situ ellipsometry study of atomic hydrogen etching of extreme ultraviolet induced carbon layers” [Appl. Surf. Sci. 258(1) (2011) 7–12, (S0169433211011883), (10.1016/j.apsusc.2011.07.121)]. Applied surface science, [155765]. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.155765

Lucke, P. , Nematollahi, M. , Bayraktar, M. , Yakshin, A. E. , Ten Elshof, J. E. , & Bijkerk, F. (2022). Influence of the Template Layer on the Structure and Ferroelectric Properties of PbZr_0.52Ti_0.48O₃Films. ACS Omega, 7(26), 22210-22220. https://doi.org/10.1021/acsomega.2c00815

Chandrasekaran, A. (2022). Surface and interface diffusion processes in nanoscale thin films. [PhD Thesis - Research UT, graduation UT, University of Twente]. University of Twente. https://doi.org/10.3990/1.9789036554763

Shafikov, A. (2022). Fracture behavior and characterization of free-standing metal silicide thin films. [PhD Thesis - Research UT, graduation UT, University of Twente]. University of Twente. https://doi.org/10.3990/1.9789036554251

Schurink, B. , van den Beld, W. , Tiggelaar, R. M. , van de Kruijs, R. W. E. , & Bijkerk, F. (2022). Synthesis and Characterization of Boron Thin Films Using Chemical and Physical Vapor Depositions. Coatings, 12 (5), [685]. https://doi.org/10.3390/coatings12050685

Phadke, P. , Zameshin, A. A. , Sturm, J. M. , van de Kruijs, R. W. E. , & Bijkerk, F. (2022). Sputter yields of monoatomic solids by Ar and Ne ions near the threshold: A Bayesian analysis of the Yamamura Model. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 520, 29-39. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2022.03.016

Shafikov, A. , van de Kruijs, R. W. E. , Benschop, J. P. H. , Schurink, B. , van den Beld, W. T. E. , Houweling, Z. S. , Kooi, B. J. , Ahmadi, M., de Graaf, S. , & Bijkerk, F. (2022). Relation between composition and fracture strength in off-stoichiometric metal silicide free-standing membranes. Intermetallics, 144, [107531]. https://doi.org/10.1016/j.intermet.2022.107531

Kizir, S. (2022). Nucleation, growth and hydrogen resistance of multi-layer graphene. [PhD Thesis - Research UT, graduation UT, University of Twente]. University of Twente. https://doi.org/10.3990/1.9789036552820

Shafikov, A. , van de Kruijs, R. W. E. , Benschop, J. P. H. , van den Beld, W. , Houweling, S. , & Bijkerk, F. (2022). Fracture Toughness of Free-Standing ZrSiₓ Thin Films Measured Using Crack-on-a-Chip Method. Journal of microelectromechanical systems, 31(1), 63-73. https://doi.org/10.1109/JMEMS.2021.3128760

Shavikof, A. , Bijkerk, F. , Schurink, B. , Sturm, J. M. , & van de Kruijs, R. W. E. (2021). PELLICLE FOR EUV LITHOGRAPHY. (Patent No. CN113646697).

Bekijk alle publicaties van deze medewerker

Vakken in het huidig collegejaar worden toegevoegd op het moment dat zij definitief zijn in het Osiris systeem. Daarom kan het zijn dat de lijst nog niet compleet is voor het gehele collegejaar.

201600261 - CS XUV

+31620573555 (mobiel)

+31534894646 (secretaresse)

+31534892863 (bij geen gehoor)

f.bijkerk@utwente.nl

secretariaat-xuv-tnw@utwente.nl

www.utwente.nl/xuv

Bezoekadres

Universiteit Twente
Drienerlolaan 5
7522 NB Enschede

Navigeer naar locatie

Postadres

Universiteit Twente
Postbus 217
7500 AE Enschede

Universiteit Twente Drienerlolaan 5
7522 NB Enschede

+31 (0)53 489 9111
info@utwente.nl
Route

Welkom...

Hoogleraar Industriële Focusgroep XUV Optics

Expertises

Publicaties

Pure Link

Vakken Collegejaar 2022/2023

Vakken Collegejaar 2021/2022

Contactgegevens

Bezoekadres

Postadres