Expertises
Physics & Astronomy
# Lithography
# Mirrors
# Optics
# Reflectance
# Thin Films
# Wavelengths
Engineering & Materials Science
# Multilayers
Chemistry
# Multilayer
Verbonden aan
Publicaties
Recent
Chen, J.
, Louis, E., Harmsen, R., Tsarfati, T.
, Wormeester, H., van Kampen, M., van Schaik, W.
, van de Kruijs, R.
, & Bijkerk, F. (2022).
Corrigendum to “In situ ellipsometry study of atomic hydrogen etching of extreme ultraviolet induced carbon layers” [Appl. Surf. Sci. 258(1) (2011) 7–12, (S0169433211011883), (10.1016/j.apsusc.2011.07.121)].
Applied surface science, [155765].
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.155765
Chandrasekaran, A. (2022).
Surface and interface diffusion processes in nanoscale thin films. [PhD Thesis - Research UT, graduation UT, University of Twente]. University of Twente.
https://doi.org/10.3990/1.9789036554763
Shafikov, A. (2022).
Fracture behavior and characterization of free-standing metal silicide thin films. [PhD Thesis - Research UT, graduation UT, University of Twente]. University of Twente.
https://doi.org/10.3990/1.9789036554251
Phadke, P.
, Zameshin, A. A.
, Sturm, J. M.
, van de Kruijs, R. W. E.
, & Bijkerk, F. (2022).
Sputter yields of monoatomic solids by Ar and Ne ions near the threshold: A Bayesian analysis of the Yamamura Model.
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,
520, 29-39.
https://doi.org/10.1016/j.nimb.2022.03.016
Shafikov, A.
, van de Kruijs, R. W. E.
, Benschop, J. P. H.
, Schurink, B.
, van den Beld, W. T. E.
, Houweling, Z. S.
, Kooi, B. J.
, Ahmadi, M., de Graaf, S.
, & Bijkerk, F. (2022).
Relation between composition and fracture strength in off-stoichiometric metal silicide free-standing membranes.
Intermetallics,
144, [107531].
https://doi.org/10.1016/j.intermet.2022.107531
Kizir, S. (2022).
Nucleation, growth and hydrogen resistance of multi-layer graphene. [PhD Thesis - Research UT, graduation UT, University of Twente]. University of Twente.
https://doi.org/10.3990/1.9789036552820
Shafikov, A.
, van de Kruijs, R. W. E.
, Benschop, J. P. H.
, van den Beld, W.
, Houweling, S.
, & Bijkerk, F. (2022).
Fracture Toughness of Free-Standing ZrSiₓ Thin Films Measured Using Crack-on-a-Chip Method.
Journal of microelectromechanical systems,
31(1), 63-73.
https://doi.org/10.1109/JMEMS.2021.3128760
Shavikof, A.
, Bijkerk, F.
, Schurink, B.
, Sturm, J. M.
, & van de Kruijs, R. W. E. (2021).
PELLICLE FOR EUV LITHOGRAPHY. (Patent No.
CN113646697).
Pure Link
Vakken Collegejaar 2022/2023
Vakken in het huidig collegejaar worden toegevoegd op het moment dat zij definitief zijn in het Osiris systeem. Daarom kan het zijn dat de lijst nog niet compleet is voor het gehele collegejaar.
Vakken Collegejaar 2021/2022
Contactgegevens
Bezoekadres
Universiteit Twente
Faculty of Science and Technology
Carré
(gebouwnr. 15), kamer C2025
Hallenweg 23
7522NH Enschede
Postadres
Universiteit Twente
Faculty of Science and Technology
Carré
C2025
Postbus 217
7500 AE Enschede