Expertises
Engineering
- High Aspect Ratio
- Lithography
- Side Wall
- Dimensional Control
Material Science
- Plasma Etching
- Density
- Silicon
- Silicon Wafer
Organisaties
- Nanolab (NANO)
- MESA+ Institute
Onderzoeksprofielen
Adres

Universiteit Twente
Nanolab (gebouwnr. 16), kamer 1011
Hallenweg 23
7522 NH Enschede
Universiteit Twente
Nanolab 1011
Postbus 217
7500 AE Enschede
Organisaties
- Nanolab (NANO)
- MESA+ Institute